误差分为哪2大类

金融界2024年4月4日消息，据国家知识产权局公告，杭州广立微电子股份有限公司取得一项名为“一种测量套刻误差的方法及测试结构“，授权公告号CN113296365B，申请日期为2021年1月。

专利摘要显示，本发明公开了一种测量套刻误差的方法及测试结构，可应用于晶圆套刻误差的测量。所述测试结构由第一光罩和第二光罩按预置套刻偏移量交叉叠加组合，所述预置套刻偏移量分为零偏移量、左偏移量及右偏移量。本发明通过设计的测试结构结合电学测量法来准确测量晶圆的套刻误差，相对于传统的光学测量法，本发明中的电学测量法更易于实现，测量值接近于真实的套刻误差，且不仅能表征晶圆在光刻工艺过程中表面产生的套刻误差，同时能从立体角度表征整体的套刻误差。

本文源自金融界

","gnid":"90fde5a32b3caaa8d","img_data":[{"flag":2,"img":[]}],"original":0,"pat":"art_src_3,fts0,sts0","powerby":"pika","pub_time":1712204760000,"pure":"","rawurl":"http://zm.news.so.com/1e747289bec45da35bb68af9c041b919","redirect":0,"rptid":"9c8d80c6570e38cf","rss_ext":[],"s":"t","src":"金融界","tag":[{"clk":"ktechnology_1:金融界","k":"金融界","u":""}],"title":"广立微取得一种测量套刻误差的方法及测试结构专利，能准确测量晶圆的套刻误差 [周辉13984787255]
误差按性质分为哪两类 -
…… 阎贺3573 [答案] 根据误差产生的原因及性质可分为系统误差与偶然误差两类.系统误差 由于仪器结构上不够完善或仪器未经很好校准等原因会产生误差.例如,各种刻度尺的热胀冷缩,温度计、表盘的刻度不准确等都会造成误差. 由于实验...

[周辉13984787255]
测量误差分成哪几类? -
…… 阎贺3573 [答案] 1、绝对误差: 定义为:Δx=x-A0 2、相对误差 (1)实际相对误差 (2)示值相对误差 (3)满度相对误差 (4)分贝误差: Gx=20 lgAu(d B)

[周辉13984787255]
测量误差按其性质可分为哪几类?各有何特征 -
…… 阎贺3573 按测量误差对测量结果的影响性质可分为:偶然误差、系统误差和粗差三类. (1)偶然误差 在同等观测条件下,大小、符号变化呈偶然性(即无规律性),但从大量误差的总体统计而言,又具有一定的规律性,这种误差称为偶然误差. 观测数据...